Håndtering af wafers/reticles

Håndtering af 200 mm wafers

Et bredt udvalg af produkter og tjenester, der er udviklet til at håndtere udfordringerne ved automatisering, kontamination og produktivitet på anlæg, der producerer 200 mm-enheder.

Håndtering af 150 mm wafers

Som understøttelse af halvlederindustriens krav til avanceret håndtering af 150 mm-wafers tilbyder Entegris en bred vifte af løsninger til forsendelse og håndtering af wafers, som giver sikker transport af siliciumwafers på anlæg, der producerer 150 mm-wafers.

Håndtering af wafers på 125 mm og mindre

Et bredt udbud af produkter til håndtering af wafers på 125 mm og mindre til sikker transport og beskyttelse af siliciumwafers.

Solcelle-/LCD-transportører, andre transportører og laboratorieudstyr

Et udvalg af transportører, kurve, håndtag og laboratorieudstyr til mange former for håndtering af siliciumwafers.

Håndtering af masker og reticles

Et udvalg af produkter til håndtering af masker og reticles i forskellige størrelser.

Reticle SMIF-pods

En række reticle SMIF-pods, som er designet til at beskytte, opbevare og transportere værdifulde litografi-reticles. Entegris reticle-pods giver brugerne fordelene ved et omkostningseffektivt design kombineret med en meget høj grad af beskyttelse mod kontamination.